Ποιες είναι οι χρήσεις του FFKM στους ημιαγωγούς;

Το FFKM είναι ένα στεγανοποιητικό υλικό υψηλής απόδοσης. Η εξαιρετική του απόδοση επέτρεψε στην εφαρμογή του να διεισδύσει σε ολόκληρο το σύστημα παραγωγής προϊόντων ημιαγωγών. Μεταξύ αυτών, οι δακτύλιοι στεγανοποίησης FFKM είναι ένα από τα κύρια αναλώσιμα που απαιτούνται για την παραγωγή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.

Το FFKM συμπολυμερίζεται από τετραφθοροαιθυλένιο (TFE), υπερφθοροαλκυλ βινυλαιθέρα (PAVE) ως τα κύρια μονομερή και μια μικρή ποσότητα μονομερούς σημείου σκλήρυνσης (CSM). Όπως φαίνεται στο παρακάτω σχήμα, όλα τα άτομα άνθρακα στο πολυμερές Τα άτομα υδρογόνου στο καουτσούκ αντικαθίστανται όλα από άτομα φθορίου, καθιστώντας το ένα καουτσούκ που δεν περιέχει καθόλου δεσμούς CH.

Κύρια χαρακτηριστικά απόδοσης του FFKM:

1) Φυσικές ιδιότητες

Η πυκνότητα του FFKM είναι 1.9-2.0g/cm³. Οι μηχανικές του ιδιότητες κανονικής θερμοκρασίας είναι παρόμοιες με εκείνες του φθοριούχου καουτσούκ με βάση το βινυλιδενοφθορίδιο (VDF) (FKM), αλλά οι μηχανικές του ιδιότητες σε υψηλή θερμοκρασία είναι καλύτερες από εκείνες του φθοριούχου καουτσούκ.

2) Χημική αντοχή

Δεν υπάρχουν άτομα υδρογόνου στη μοριακή αλυσίδα FFKM, και οι δεσμοί CC βασικά περιβάλλονται από ένα κέλυφος που αποτελείται από άτομα F, δείχνοντας ισχυρή χημική αδράνεια και καθιστώντας το πολυμερές σημαντικά ανθεκτικό στις χημικές ουσίες.

3) Αντοχή σε υψηλές και χαμηλές θερμοκρασίες

Η θερμοκρασία λειτουργίας του FFKM είναι γενικά 260~290 μοίρες και μπορεί να χρησιμοποιηθεί κατά διαστήματα σε υψηλές θερμοκρασίες 316 μοιρών. Δεδομένου ότι ένας μεγάλος αριθμός ομάδων -OCF3 εισάγεται στις διακλαδώσεις των μορίων, βελτιώνεται η ευκαμψία των μορίων και βελτιώνεται η αντίσταση του καουτσούκ σε χαμηλή θερμοκρασία.

4) Αντοχή στο πλάσμα

Σε περιβάλλον πλάσματος, παρουσιάζει χαρακτηριστικά προϊόντος υψηλής καθαριότητας και χαμηλής βροχόπτωσης και μπορεί να αντέξει τον βομβαρδισμό πλάσματος για μεγάλο χρονικό διάστημα.

Στην κατασκευή ημιαγωγών, η αξιοπιστία των ελαστομερών σφραγίδων είναι κρίσιμης σημασίας επειδή οι διακοπές λειτουργίας της παραγωγής για την αντικατάσταση των σφραγίδων είναι εξαιρετικά δαπανηρές. Προκειμένου να αποφευχθούν πιθανοί κίνδυνοι, οι απαιτήσεις για την καθαριότητα και την καθαρότητα των σφραγίδων είναι πολύ αυστηρές. Ταυτόχρονα, οι στεγανοποιήσεις πρέπει να μπορούν να λειτουργούν για μεγάλο χρονικό διάστημα σε περιβάλλον πίεσης υψηλής θερμοκρασίας, υψηλού κενού και διαβρωτικών χημικών αερίων.

Όσον αφορά τις εφαρμογές ημιαγωγών, το FFKM εστιάζει κυρίως σε:

1) Σφράγιση αερίου: Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, η επεξεργασία και η μεταφορά διαφόρων αερίων είναι απαραίτητες. Οι δακτύλιοι FFKM O χρησιμοποιούνται για τη στεγανοποίηση αγωγών αερίου, βαλβίδων και αρμών για να διασφαλιστεί ότι δεν υπάρχει διαρροή αερίου και να διατηρηθεί η σταθερότητα της διαδικασίας.

2) Χάραξη και καθαρισμός: Τα βήματα χάραξης και καθαρισμού σε διεργασίες ημιαγωγών συχνά περιλαμβάνουν τη χρήση διαβρωτικών μέσων όπως ισχυρά οξέα ή αλκάλια. Ο δακτύλιος FFKM O χρησιμοποιούνται ευρέως σε εξαρτήματα εξοπλισμού που έρχονται σε επαφή με αυτά τα μέσα, όπως θάλαμοι χάραξης, δεξαμενές καθαρισμού κ.λπ. λόγω της εξαιρετικής αντοχής τους στη διάβρωση.

3) Μεταφορά υγρών και χημικών: Στην κατασκευή ημιαγωγών, πρέπει να μεταφερθούν διάφορα υγρά και χημικά, όπως διαλύματα, διαλύτες, υγρά καθαρισμού κ.λπ. την ασφαλή παράδοση των μέσων.

4) Περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας: Ορισμένα βήματα στη διαδικασία ημιαγωγών πρέπει να εκτελούνται σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας, όπως η θερμική επεξεργασία, η ανόπτηση κ.λπ. ιδιότητες σε υψηλές θερμοκρασίες.

5) Επεξεργασία υπερκαθαρού νερού: Στην κατασκευή ημιαγωγών, το υπερκαθαρό νερό χρησιμοποιείται για τον καθαρισμό και τον καθαρισμό εξοπλισμού και υλικών. Οι δακτύλιοι Ο FFKM χρησιμοποιούνται ευρέως για τη σφράγιση εξοπλισμού επεξεργασίας υπερκαθαρού νερού για την πρόληψη της εισόδου ακαθαρσιών και ρύπων.

Λόγω του υψηλού κόστους των πρώτων υλών από καουτσούκ FFKM, οι συνθήκες εργασίας όπου συνήθως χρησιμοποιούνται σφραγίδες FFKM είναι εξαιρετικά σκληρές. Κάτω από αυτές τις σκληρές συνθήκες εργασίας, άλλα λάστιχα είναι επιρρεπή σε διάβρωση, διόγκωση, διάλυση, γήρανση και σκλήρυνση, κ.λπ., με αποτέλεσμα την αστοχία σφράγισης και επομένως δεν μπορούν να ανταποκριθούν στις απαιτήσεις σφράγισης. Λόγω της εξαιρετικής αντοχής στη διάβρωση και της αντοχής σε υψηλές θερμοκρασίες, το καουτσούκ FFKM όχι μόνο μπορεί να καλύψει τις απαιτήσεις σφράγισης σκληρών συνθηκών εργασίας, αλλά και να αυξήσει τη διάρκεια ζωής των σφραγίδων και να μειώσει το κόστος συντήρησης των πελατών.