Η Xiamen Juda Chemical & Equipment Co., Ltd. είναι ένας από τους κορυφαίους κατασκευαστές και προμηθευτές υγρών αντλίας κενού pfpe jhlo 06/6 στην Κίνα. Αν ψάχνετε για υγρά αντλίας κενού pfpe jhlo 06/6, μπορείτε να αγοράσετε ελεύθερα τα ποιοτικά προϊόντα μας σε ανταγωνιστικές τιμές από το εργοστάσιό μας. Επικοινωνήστε μαζί μας για προσφορά.
Τι είναι το υγρό αντλίας κενού υπερφθοροπολυαιθέρα PFPE JHLO 06/6; Τηλ:+86-592-5803997
PFPE JHLO 06/6είναι ένα υγρό αδρανούς αντλίας κενού υψηλής-ιξώδους-υπερφθοροπολυαιθέρα (PFPE), ειδικά σχεδιασμένο για να αντικαταστήσει το Solvay Fomblin YL VAC 06/6 για εξοπλισμό κενού ημιαγωγών ακριβείας. Ως πλήρως φθοριούχο συνθετικό λιπαντικό PFPE που αποτελείται αποκλειστικά από μοριακές αλυσίδες άνθρακα, φθορίου και οξυγόνου, προσφέρει απαράμιλλη καθαριότητα, θερμική σταθερότητα και μηδενική χημική αντιδραστικότητα - τα τρία μη-διαπραγματεύσιμα σημεία αναφοράς για τον έλεγχο της γκοφρέτας κατασκευής ημιαγωγών.
Σε αντίθεση με τα λιπαντικά κενού που βασίζονται σε υδρογονάνθρακες ή{0}}εστέρες που παράγουν πτητικά υπολείμματα και σωματιδιακή ρύπανση, το JHLO 06/6 PFPE υποβάλλεται σε αυστηρή σύνθεση καθαρού χώρου ISO Κλάσης 1 και δοκιμές εξάτμισης πολλαπλών{4} κύκλων. Αυτό το υγρό υπερφθοροπολυαιθέρα περιορίζει το TML και το CVCM σε εξαιρετικά-χαμηλά κατώφλια, αποτρέποντας τη μόλυνση από το backstreaming στη χάραξη, τις αντλίες κενού LPCVD, PVD και εμφύτευσης ιόντων - μειώνοντας άμεσα τους ρυθμούς ελαττωμάτων πλακιδίων και σταθεροποιώντας την απόδοση παραγωγής για 200mmb/30.
Προδιαγραφές λαδιού υπερφθοροπολυαιθέρα PFPE σειράς JHL Τηλ:+86-592-5803997
Λάβετε δωρεάν τεχνικό φύλλο δεδομένων
Core Semiconductor-Πλεονεκτήματα βαθμού του PFPE JHLO 06/6 υπερφθοροπολυαιθέρας Τηλ:+86-592-5803997
1. Εξαιρετικά-Χαμηλή εκροή αερίων και μηδενική μόλυνση σωματιδίων (Προστασία απόδοσης γκοφρέτας)
Το βασικό σημείο πόνου των συστημάτων κενού ημιαγωγών είναι οι γκοφρέτες πυριτίου που ρυπαίνουν από πτητικά λιπαντικά. Ο υπερφθοροπολυαιθέρας PFPE JHLO 06/6 διαθέτει εξαιρετικά χαμηλή πίεση κορεσμένων ατμών υπό υψηλό κενό:
Ελάχιστη απώλεια εξάτμισης υπό συνεχή λειτουργία υψηλής-κενού
Δεν αποσυντίθεται σε κύκλους ψησίματος και κρυογονικής ψύξης σε πλάσμα, υψηλές-θερμοκρασίες
Χωρίς μικρο-αποβολή σωματιδίων. αποτρέπει την αστοχία φωτοανθεκτικού, βραχυκυκλώματος και κινδύνους ελαττωματικών επιφανειών Οι πελάτες Fab αναφέρουν μείωση 15–22% στο ποσοστό σκραπ γκοφρετών μετά τη μετάβαση σε υγρά αντλίας κενού JHLO 06/6 PFPE, χάρη στη σταθερή απόδοση εξαιρετικά καθαρού υπερφθοροπολυαιθέρα που ταιριάζει με κορυφαίες-εμπορικές μάρκες PFPE εισαγόμενων βαθμίδων.
2.Πλήρης χημική αδράνεια έναντι χημικών διεργασιών ημιαγωγών
Ο μοναδικός κορμός φθοράνθρακα του υπερφθοροπολυαιθέρα (PFPE) παρέχει στο JHLO 06/6 πλήρη αντίσταση σε όλα τα επιθετικά μέσα διεργασίας fab: φθοριούχο αέριο χάραξης, αλογόνα, ισχυρά οξειδωτικά, όζον και ατμούς οξέος.
Καμία χημική αντίδραση, ενανθράκωση ή συσσώρευση λάσπης μέσα στους θαλάμους της αντλίας
Μη εύφλεκτο, μηδενικό σημείο ανάφλεξης. ασφαλές για διεργασίες άντλησης πλούσιες σε οξυγόνο- υπό κενό
Πλήρως συμβατό με FFKM, PTFE, ανοξείδωτο χάλυβα και όλα τα υλικά στεγανοποίησης αντλιών ημιαγωγών Χωρίς συσσώρευση λάσπης επεκτείνει τους κύκλους γενικής επισκευής της αντλίας κενού κατά 2–3 φορές σε σχέση με τα συμβατικά λιπαντικά, μειώνοντας το χρόνο διακοπής συντήρησης του εξοπλισμού fab και το κόστος ανταλλακτικών.
3.Εξαιρετική ευρεία λειτουργική σταθερότητα θερμοκρασίας
Ο εξοπλισμός κενού ημιαγωγών εναλλάσσεται μεταξύ κρυογονικής ψύξης (-60 βαθμοί ) και ψησίματος σε υψηλή θερμοκρασία (260 μοίρες ). Ο υπερφθοροπολυαιθέρας PFPE JHLO 06/6 διατηρεί σταθερή λιπαντικότητα σε αυτό το πλήρες φάσμα:
Σημείο ροής κάτω από -58 μοίρες : ομαλή εκκίνηση της αντλίας σε περιβάλλοντα κενού εξαιρετικά χαμηλής θερμοκρασίας
Θερμοκρασία θερμικής αποσύνθεσης πάνω από 300 μοίρες : καμία αστοχία ιξώδους ή υπερτάσεις ατμών κατά τη διάρκεια διεργασιών υψηλής θερμότητας-
Σταθερό ιξώδες-καμπύλη θερμοκρασίας, σταθερή απόδοση άντλησης υπό κενό- όλο το χρόνο
4.Παρόμοιες επιδόσεις με Solvay PFPE Fomblin YL VAC 06/6, Κόστος-Αποτελεσματική Προμήθεια
Το υγρό αντλίας κενού JHLO 06/6 PFPE αντικατοπτρίζει τις πλήρεις φυσικές και χημικές παραμέτρους του υπερφθοροπολυαιθέρα Solvay Fomblin YL VAC 06/6: αντίστοιχοι δείκτες μοριακού βάρους, τάσης ατμών, λιπαντικότητας και εξαγωγής αερίων.
Άμεση πτώση-αντικατάσταση όλων των περιστροφικών πτερυγίων, ξηρών και στροβιλομοριακών αντλιών κενού που χρησιμοποιούνται σε εργοστάσια ημιαγωγών
Η εγχώρια μαζική παραγωγή καθαρού δωματίου εξαλείφει τους μεγάλους χρόνους εισαγωγής και το ασταθές κόστος πρώτων υλών στο εξωτερικό
Διατίθεται σε συσκευασίες 5L, 20L και χύμα IBC για γραμμές παραγωγής ημιαγωγών μεγάλου-όγκου
Βασικές εφαρμογές κατασκευής ημιαγωγών για PFPE JHLO 06/6 υπερφθοροπολυαιθέρας Τηλ:+86-592-5803997
Αυτό το premium υγρό αντλίας κενού PFPE είναι το τυπικό λιπαντικό για ροές εργασιών κενού υψηλής{0}καθαριότητας σε όλη την κατασκευή γκοφρετών στο μπροστινό-άκρο:
1.Αντλίες κενού Plasma Etching & Reactive Ion Etching (RIE).
2.Συστήματα κενού διαδικασίας εναπόθεσης λεπτού υμενίου LPCVD, PVD, ALD-
3. Εμφύτευση ιόντων, κλίβανος διάχυσης υψηλής-μονάδες άντλησης κενού
4. Απαέρωση γκοφρέτας, κρυογονικός εξοπλισμός κενού θαλάμου δοκιμής
5. Αντλίες κυκλοφορίας κενού μεταφοράς ατμών διαβρωτικών χημικών
6. Αεροδιαστημική δοκιμή κενού ακριβείας & φαρμακευτική αδρανής επεξεργασία κενού
Όλα τα σενάρια όπου η χαμηλή μόλυνση, η μεγάλη διάρκεια ζωής και η χημεία αδρανούς υπερφθοροπολυαιθέρα PFPE είναι υποχρεωτικά για τη διασφάλιση της απόδοσης του τελικού προϊόντος.
Γιατί η Global Semiconductor Fabs επιλέγει τη σειρά JHLO PFPE υπερφθοροπολυαιθέρα Τηλ:+86-592-5803997
Με 10 χρόνια ανεξάρτητης λειτουργίας φθοριοχημικού σταθμού που εξυπηρετεί OEM ημιαγωγών και κατασκευαστές γκοφρετών, η παραγωγή PFPE του εργοστασίου μας ακολουθεί αυστηρά τα πρότυπα καθαρότητας REACH, RoHS και ημιαγωγών:
1
Πλήρης-σύνθεση βασικού υλικού υπερφθοροπολυαιθέρα, χωρίς-ανάμιξη τρίτων
2
Διήθηση σωματιδίων 3 σταδίων πριν από την πλήρωση για την εξάλειψη ξένων ρύπων
3
Παρέχονται πλήρεις αναφορές MSDS, COA, δοκιμών καθαρού δωματίου ανά παρτίδα
4
Ρευστά κενού PFPE προσαρμοσμένου ιξώδους (JHLO-04, 14/6, 25/6, 45) διαθέσιμα για διαφορετικά μοντέλα αντλιών
Υποβολή ερωτήματος για μαζική προσφορά
Συχνές ερωτήσεις – PFPE JHLO 06/6 Υγρό αντλίας κενού υπερφθοροπολυαιθέρα
01. Μπορεί το PFPE JHLO 06/6 να αντικαταστήσει πλήρως το Solvay Fomblin YL VAC 06/6;
02. Ποιους κινδύνους μόλυνσης εξαλείφει ο υπερφθοροπολυαιθέρας PFPE έναντι του ορυκτού ελαίου κενού;
03. Ποια μεγέθη συσκευασίας είναι διαθέσιμα για το PFPE JHLO 06/6;
Δημοφιλείς Ετικέτες: pfpe jhlo 06/6 υγρά αντλίας κενού, προμηθευτές, κατασκευαστές, εργοστάσιο, προσφορά, τιμή, αγορά
